護(hù)航“芯”征程！歐博全場(chǎng)景方案賦能杭州泓芯微二期高端智造
在半導(dǎo)體這個(gè)被譽(yù)為現(xiàn)代工業(yè)“皇冠”的領(lǐng)域中，環(huán)境的穩(wěn)定性往往決定著芯片的“生死”。 微米級(jí)的塵埃、±0.1℃的溫濕度波動(dòng)，都可能成為壓垮良品率的最后一根稻草。
近日，歐博空調(diào)憑借在半導(dǎo)體環(huán)境控制領(lǐng)域的深厚積淀，成功攜手杭州泓芯微半導(dǎo)體有限公司，為其二期新建廠房項(xiàng)目提供全場(chǎng)景定制化環(huán)境解決方案：模塊式風(fēng)冷冷水（熱泵）機(jī)組+組合式空調(diào)機(jī)組已蓄勢(shì)待發(fā)，以“硬核”實(shí)力為高端半導(dǎo)體石英制品的智造保駕護(hù)航，共同書寫國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料自主可控的新篇章。
破局之勢(shì)：杭州泓芯微的“二期跨越”
2018年，浙江泓芯半導(dǎo)體在衢州成立，專注半導(dǎo)體設(shè)備用高端石英零部件。作為高新技術(shù)企業(yè)，它始終致力于成為全球材料制品的核心供應(yīng)商。隨著全球半導(dǎo)體與光伏需求的井噴，企業(yè)迎來了發(fā)展的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。
2022年，杭州泓芯微半導(dǎo)體有限公司應(yīng)運(yùn)而生，定位生產(chǎn)高端半導(dǎo)體石英制品，專注于高端綜合材料零部件的研發(fā)。然而，真正的質(zhì)變來自于二期新建廠房項(xiàng)目。
這一項(xiàng)目不僅是產(chǎn)能的擴(kuò)張，更是企業(yè)戰(zhàn)略的升級(jí)。項(xiàng)目規(guī)劃用地25.74畝，總投資高達(dá)4.415億元，屬于“C3985電子專用材料制造”這一關(guān)鍵行業(yè)。建成后，這里將成為集數(shù)字化智能制造、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)與經(jīng)驗(yàn)傳承深度融合的高端生產(chǎn)基地，用于制造半導(dǎo)體核心制程中不可或缺的石英及硅制品。
對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言，石英部件不僅是耗材，更是晶圓載具、刻蝕設(shè)備中的核心構(gòu)件。這意味著，杭州泓芯微的生產(chǎn)環(huán)境，必須對(duì)標(biāo)芯片制造前道工序的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。 在這樣的背景下，誰能為這座“超級(jí)工廠”提供穩(wěn)定可靠的環(huán)境保障，誰就將成為這場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的重要伙伴。
硬核守護(hù)：歐博全場(chǎng)景方案的“定制哲學(xué)”
面對(duì)杭州泓芯微二期項(xiàng)目對(duì)生產(chǎn)環(huán)境近乎苛刻的要求，歐博空調(diào)沒有選擇“一刀切”的通用設(shè)備，而是深入剖析半導(dǎo)體材料制造的獨(dú)特痛點(diǎn)，拿出了“模塊式風(fēng)冷冷水（熱泵）機(jī)組+組合式空調(diào)機(jī)組”的王牌組合。
圖/項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)機(jī)組照片
作為此次方案的“動(dòng)力心臟”——模塊式風(fēng)冷冷水（熱泵）機(jī)組，展現(xiàn)了歐博在溫控領(lǐng)域的深厚功底。
對(duì)于半導(dǎo)體石英制品的加工，無論是精密研磨還是高溫處理，生產(chǎn)設(shè)備對(duì)冷卻水的溫度穩(wěn)定性要求極高。歐博模塊式風(fēng)冷冷水機(jī)組采用全封閉渦旋式壓縮機(jī)技術(shù)，制冷劑直接冷卻電機(jī)，不僅免去了繁瑣的維護(hù)，更確保了長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的可靠性 。同時(shí)，機(jī)組采用R410A環(huán)保冷媒，契合了現(xiàn)代綠色工廠的環(huán)保理念 。最關(guān)鍵的是，其具備強(qiáng)大的智能模塊化輪值及備用技術(shù)，多臺(tái)模塊間可互為備用，即便在極端工況下，也能確保冷熱源供應(yīng)的“零中斷”，有效規(guī)避因環(huán)境波動(dòng)導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn) 。
而負(fù)責(zé)車間內(nèi)部空氣環(huán)境的“環(huán)境管家”——組合式空調(diào)機(jī)組，則為杭州泓芯微筑起了一道看不見的“潔凈屏障”。
半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度直接關(guān)系到產(chǎn)品性能。歐博ZKW系列組合式空調(diào)機(jī)組如同一個(gè)精密的“環(huán)境調(diào)控大師”，通過初效、中效、高效的多級(jí)過濾系統(tǒng)，有效濾除空氣中微米級(jí)的塵埃顆粒，為車間提供超高潔凈度的空氣環(huán)境 。此外，它能精準(zhǔn)控制車間內(nèi)的溫濕度，將波動(dòng)控制在極窄范圍內(nèi)，確保石英部件在加工、清洗過程中不受結(jié)露或靜電的干擾，從而保障最終產(chǎn)品的良品率 。
深耕“芯”土：不止于此的行業(yè)積淀
在半導(dǎo)體這個(gè)高度專業(yè)的賽道，歐博空調(diào)并非初來乍到。事實(shí)上，從存儲(chǔ)芯片到功率器件，從材料端到封裝端，歐博的身影早已遍布中國(guó)“芯”版圖。
在青島致真存儲(chǔ)項(xiàng)目中，歐博組合式空調(diào)機(jī)組成功應(yīng)對(duì)了存儲(chǔ)芯片制造對(duì)空氣潔凈度的極致要求，助力月產(chǎn)400萬顆高端芯片的宏偉目標(biāo) 。
在合肥漢芯光科技，歐博的滿液式水冷螺桿冷水機(jī)組與組合式空調(diào)協(xié)同作戰(zhàn)，為半導(dǎo)體先進(jìn)光源的國(guó)產(chǎn)化破局提供了堅(jiān)實(shí)的環(huán)境底座 。
而在芯科半導(dǎo)體，歐博通過四管制風(fēng)冷熱泵與組合式空調(diào)的搭配，不僅滿足了萬級(jí)潔凈車間的嚴(yán)苛環(huán)境，更為客戶帶來了每年百萬級(jí)的能耗節(jié)省，破解了半導(dǎo)體廠房“高能耗”的難題 。
這一系列的成功案例，
印證了歐博空調(diào)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的三大核心優(yōu)勢(shì)
? 高精度控制
先進(jìn)PID控制算法與高精度傳感器，實(shí)現(xiàn)溫濕度波動(dòng)極窄控制 。
? 極致潔凈
多級(jí)過濾系統(tǒng)，為工藝環(huán)境提供穩(wěn)定潔凈保障 。
? 節(jié)能穩(wěn)定
模塊化設(shè)計(jì)與智能群控技術(shù)，保障連續(xù)生產(chǎn)，降低運(yùn)營(yíng)成本 。
從衢州到杭州，從石英材料到高端半導(dǎo)體零部件，杭州泓芯微的每一步跨越，都是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向上突圍的縮影。而在這條充滿挑戰(zhàn)的“芯”征程上，歐博空調(diào)正以全場(chǎng)景定制化解決方案，擔(dān)當(dāng)起“環(huán)境守衛(wèi)者”的重任。
22臺(tái)模塊機(jī)，9臺(tái)組合柜，不僅僅是設(shè)備的堆疊，更是歐博對(duì)極致環(huán)境控制的承諾。 未來，歐博空調(diào)將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，助力更多半導(dǎo)體企業(yè)，在方寸晶圓之間，守護(hù)大國(guó)重器的“芯”脈動(dòng)。
